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詳細(xì)介紹膜厚測試儀原理
點(diǎn)擊次數(shù):2251 更新時(shí)間:2019-09-26
        膜厚測試儀,分為手持式和臺式二種,手持式又有磁感應(yīng)鍍層測厚儀,電渦流鍍層測厚儀,熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應(yīng)原理時(shí),利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。
  臺式的熒光X射線膜厚測試儀,是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時(shí)·產(chǎn)生低能量的光子,俗稱為二次熒光,,在通過計(jì)算二次熒光的能量來計(jì)算厚度值。
  膜厚測試儀采用磁感應(yīng)原理時(shí),利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。覆層越厚,則磁阻越大,磁通越小。利用磁感應(yīng)原理的測厚儀,原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性,則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時(shí),儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭,測量感應(yīng)電動勢的大小,儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。電路設(shè)計(jì)引入穩(wěn)頻、鎖相、溫度補(bǔ)償?shù)鹊匦录夹g(shù),利用磁阻來調(diào)制測量信號。還采用磚利設(shè)計(jì)的集成電路,引入微機(jī),使測量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高(幾乎達(dá)一個(gè)數(shù)量級)?,F(xiàn)代的磁感應(yīng)測厚儀,分辨率達(dá)到0.1um,允許誤差達(dá)1%,量程達(dá)10mm。
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